Rigaku SE攜手Fraunhofer IISB在德國埃爾蘭根共同運(yùn)營的X射線形貌技術(shù)專業(yè)中心創(chuàng)建了一種新型半導(dǎo)體材料表征方法，不僅成功開發(fā)了適用于工業(yè)領(lǐng)域的X射線形貌系統(tǒng)，而且采用缺陷檢測(cè)和量化算法，實(shí)現(xiàn)了獨(dú)特的碳化硅（SiC）材料表征方法。

日前，領(lǐng)導(dǎo)該開發(fā)工作的三位科學(xué)家——Fraunhofer IISB的Christian Kranert博士和Christian Reimann博士以及Rigaku Europe SE總裁Michael Hippler博士榮獲微電子促進(jìn)協(xié)會(huì)（F?rderkreis für die Mikroelektronik e.V.）授予的2023年Georg Waeber創(chuàng)新獎(jiǎng)。

Rigaku SE和Fraunhofer IISB的科學(xué)家榮獲2023年Georg Waeber創(chuàng)新獎(jiǎng)

（Georg Waeber創(chuàng)新獎(jiǎng)每年頒發(fā)一次，以表彰杰出的科學(xué)成就，著重強(qiáng)調(diào)微電子知識(shí)的進(jìn)步及其在產(chǎn)業(yè)中的實(shí)際應(yīng)用。2023年10月25日，Michael Hippler、Christian Reimann、Christian Kranert獲得此獎(jiǎng)項(xiàng)，該儀式于埃爾蘭根Fraunhofer IISB舉行。）

?2021年，Rigaku SE和Fraunhofer IISB在德國埃爾蘭根建立了X射線形貌技術(shù)專業(yè)中心，旨在通過使用 Rigaku XRTmicron先進(jìn)的X射線形貌設(shè)備幫助半導(dǎo)體行業(yè)改進(jìn)和更好地了解晶圓質(zhì)量和產(chǎn)量。在這里，該聯(lián)合團(tuán)隊(duì)開發(fā)了一種無損、強(qiáng)大、可靠、高通量的新型檢測(cè)方法，可以快速檢測(cè)SiC襯底中所有相關(guān)的晶體缺陷。

?迄今為止，在制造SiC電子器件的早期階段，特別是在襯底或晶體（通常稱為“圓盤”）層面，還沒有適用產(chǎn)業(yè)的計(jì)量方法。這項(xiàng)創(chuàng)新方法提供了一款采用缺陷檢測(cè)和量化算法的X射線形貌系統(tǒng)，無需因?yàn)楸碚鞫鴮?duì)半導(dǎo)體襯底進(jìn)行破壞性缺陷蝕刻和棄置。

Rigaku SE不到兩年就成功建立了新業(yè)務(wù)，很好地體現(xiàn)出了這項(xiàng)創(chuàng)新的成功之處?，F(xiàn)階段，Rigaku SE總部位于日本，并已成為全球領(lǐng)先的供應(yīng)商，其X射線形貌工具可用于制造SiC襯底及器件。微電子促進(jìn)協(xié)會(huì)由工業(yè)公司、兩家Fraunhofer研究所、埃爾朗根-紐倫堡大學(xué)的四位主席、紐倫堡工商會(huì)組成，其主要目標(biāo)是促進(jìn)科學(xué)與產(chǎn)業(yè)之間的順利交流，Rigaku SE和Fraunhofer IISB的科學(xué)家獲得Georg Waeber創(chuàng)新獎(jiǎng)更加印證了這一點(diǎn)。