三星電子旗下的晶圓廠設備公司Semes成功開發(fā)出一種ArF-i浸潤式光刻涂膠/顯影設備。該公司6月24日表示，第一臺名為“Omega Prime”的設備已于去年供貨，Semes正在制造第二臺設備。

迄今為止，韓國芯片制造商在設備方面嚴重依賴外國進口，三星每年花費達數(shù)千億韓元。

據(jù)了解，涂膠設備用于曝光前，對晶圓進行光刻膠涂布。在完成光刻后，需由顯影設備進行光刻圖案的顯影。

Semes目前已制造出KrF光刻涂膠/顯影設備，并在此基礎上開發(fā)了ArF版本，以支持波長更短的新型光刻機。

據(jù)業(yè)界報道，目前東京電子（Tokyo Electron）擁有ArF-i光刻涂膠/顯影設備全球90%以上的市場份額。

Semes表示，在Omega Prime設備上應用了噴嘴、烘烤溫度和機器人位置自動調整系統(tǒng)，以消除涂布層的偏差。