高附加值產(chǎn)品中元器件的表面形貌，包括幾何形狀和微觀紋理，對(duì)于其公差、裝配和功能至關(guān)重要。表面形貌對(duì)制造工藝的變化非常敏感，由不同工藝形成的表面復(fù)雜且多樣。表面形貌會(huì)影響零件的摩擦學(xué)特性、磨損和使用壽命，例如航發(fā)葉片的表面會(huì)影響飛機(jī)的空氣動(dòng)力學(xué)性能和燃料使用效率。

掃描白光干涉術(shù)（SWLI），也稱(chēng)為相干掃描干涉術(shù)（CSI），是用于測(cè)量材料表面形貌最精確的技術(shù)之一。作為一種光學(xué)測(cè)量手段，掃描白光干涉術(shù)先天具有高精度、快速、高數(shù)據(jù)密度和非接觸式測(cè)量等優(yōu)勢(shì)，被廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)、半導(dǎo)體、汽車(chē)及航天等先進(jìn)制造與研究領(lǐng)域。

掃描白光干涉儀光路結(jié)構(gòu)與成像原理示意圖

掃描白光干涉術(shù)經(jīng)過(guò)30多年發(fā)展，在制造和科研領(lǐng)域得到驗(yàn)證，成為表面形貌高精度測(cè)量技術(shù)的標(biāo)桿，尤其在半導(dǎo)體、精密光學(xué)和消費(fèi)電子等產(chǎn)業(yè)的推動(dòng)下，其測(cè)量功能和性能得到了持續(xù)提升。以?huà)呙璋坠飧缮嫘g(shù)為代表的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，充分利用了光的波動(dòng)屬性以及干涉和全息成像的優(yōu)勢(shì)，以光的波長(zhǎng)作為“尺子”，在先進(jìn)的光學(xué)、電子和機(jī)械元器件的支撐下，將在先進(jìn)制造與智能制造中充當(dāng)越來(lái)越重要的角色。

第二屆精密測(cè)量技術(shù)與先進(jìn)制造網(wǎng)絡(luò)會(huì)議期間，兩位專(zhuān)家將現(xiàn)場(chǎng)分享掃描白光干涉技術(shù)及其在半導(dǎo)體行業(yè)的典型應(yīng)用。

部分報(bào)告預(yù)告如下，點(diǎn)擊報(bào)名 ?》》》

中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所研究員?蘇榕

《掃描白光干涉表面形貌測(cè)量技術(shù)：原理及應(yīng)用》（點(diǎn)擊報(bào)名）

蘇榕博士，研究員，博士生導(dǎo)師，中國(guó)科學(xué)院及上海市海外高層次人才引進(jìn)。長(zhǎng)期致力于超精密光學(xué)干涉成像與散射測(cè)量?jī)x器與技術(shù)研究，聚焦基礎(chǔ)理論、核心算法、校準(zhǔn)技術(shù)、工業(yè)應(yīng)用及相關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制定。主持多項(xiàng)國(guó)家和省部級(jí)重點(diǎn)研發(fā)項(xiàng)目；發(fā)表論文40余篇，書(shū)籍章節(jié)2章，部分技術(shù)被國(guó)際頂尖儀器制造商采用。擔(dān)任期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》編委及《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》青年編委，SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE技術(shù)委員會(huì)委員，全國(guó)產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員，中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)計(jì)量?jī)x器專(zhuān)業(yè)委員會(huì)委員，中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)顯微分會(huì)委員。

【報(bào)告摘要】掃描白光干涉術(shù)是目前最精確的表面形貌測(cè)量技術(shù)之一，被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)與科研領(lǐng)域。從發(fā)明至今的三十余年間，在精密光學(xué)、半導(dǎo)體、汽車(chē)及航天等先進(jìn)制造領(lǐng)域的需求牽引下，該技術(shù)不斷取得新的進(jìn)展與突破。本報(bào)告將介紹白光干涉技術(shù)的原理與應(yīng)用，以及近年來(lái)的技術(shù)創(chuàng)新。

布魯克（北京）科技有限公司應(yīng)用經(jīng)理?黃鶴

《先進(jìn)封裝工藝中三維幾何尺寸監(jiān)控的挑戰(zhàn)與布魯克白光干涉技術(shù)的計(jì)量解決方案》（點(diǎn)擊報(bào)名）

黃鶴博士現(xiàn)任布魯克公司納米表面儀器部中國(guó)區(qū)應(yīng)用經(jīng)理。服務(wù)于工藝設(shè)備和測(cè)量?jī)x器行業(yè)超過(guò)15年，尤其在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和材料表面工程研究領(lǐng)域擁有豐富經(jīng)驗(yàn)，是一名材料學(xué)博士。黃鶴博士先后在香港理工大學(xué)任助研；在應(yīng)用材料公司任高級(jí)應(yīng)用工程師，負(fù)責(zé)化學(xué)機(jī)械拋光工藝和缺陷檢測(cè)應(yīng)用；在維易科公司任應(yīng)用科學(xué)家，負(fù)責(zé)白光干涉三維形貌技術(shù)推廣與導(dǎo)入。

【報(bào)告摘要】在半導(dǎo)體行業(yè)路線圖對(duì)不斷縮小晶體管幾何尺寸的快速追求的推動(dòng)下，PCB/HDI尤其載板制造商正在通過(guò)更薄的高密度互連，將多芯片模塊（包含芯粒）借由基板上開(kāi)發(fā)更小、更密集的功能。在大批量生產(chǎn)過(guò)程中，對(duì)于更細(xì)線寬的銅線（Line）、更小開(kāi)口的孔洞（Via）和深溝槽（Trench）及層間對(duì)位偏差（Overlay）等三維幾何尺寸的測(cè)量面臨多種新的挑戰(zhàn)。而具備計(jì)量功能的 ContourSP 大型面板高效測(cè)量系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于在制造過(guò)程中測(cè)量載板面板的每一層，確保在生產(chǎn)過(guò)程中最短的工藝開(kāi)發(fā)時(shí)間、最高的產(chǎn)量、最長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間和最穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。此外，本報(bào)告也會(huì)簡(jiǎn)略介紹白光干涉技術(shù)在晶圓封裝時(shí)再布線工藝（RDL）監(jiān)控中的典型應(yīng)用。

更多詳細(xì)日程如下：

為促進(jìn)精密測(cè)量技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用，助力制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，瑞昌明盛聯(lián)合哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密儀器工程研究院，將于2023年12月14日舉辦第二屆精密測(cè)量技術(shù)與先進(jìn)制造網(wǎng)絡(luò)會(huì)議，邀請(qǐng)業(yè)內(nèi)資深專(zhuān)家及儀器企業(yè)技術(shù)專(zhuān)家分享主題報(bào)告，就制造中的精密測(cè)量技術(shù)等進(jìn)行深入的交流探討。

報(bào)名頁(yè)面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/precisionmes2023/