Asylum Research始于1999年，2012年加入牛津儀器，成立牛津儀器Asylum Research部門，一直專注于原子力顯微鏡（AFM）的研究，不斷推動AFM市場的技術(shù)革新。值此25周年到來之際，牛津儀器Asylum Research重磅推出干涉式原子力顯微鏡Vero，再次將AFM的可信度與準(zhǔn)確性推向了新高度。
近日，借助牛津儀器舉辦“全新一代原子力顯微鏡Vero技術(shù)研討會”契機(jī)，瑞昌明盛走進(jìn)牛津儀器上海演示中心，有幸就AFM產(chǎn)品研發(fā)及市場動向等話題與牛津儀器PLC首席技術(shù)官Roger Proksch博士和牛津儀器AR部門市場總監(jiān)Akemi女士進(jìn)行了深入交流。
△ Asylum Research聯(lián)合創(chuàng)始人、牛津儀器PLC首席技術(shù)官Roger Proksch博士在線向中國客戶介紹Vero AFM中的QPDI技術(shù)
?△ 牛津儀器AR部門市場總監(jiān)Akemi女士與Vero合影
Vero推動干涉式原子力顯微鏡向前邁進(jìn)一大步
Vero原子力顯微鏡的名字取自拉丁詞根“ver”，意思是“真相”。據(jù)Roger Proksch博士介紹，Vero基于Cypher平臺打造，不僅繼承了Cypher系列的高穩(wěn)定性和高分辨率，還憑借內(nèi)置的正交相位差分干涉儀（QPDI），確保了數(shù)據(jù)的精確性和可重復(fù)性。
一直以來，AFM主要依賴于光杠桿檢測（OBD）技術(shù)，它測量的是懸臂梁偏轉(zhuǎn)的角度，而非探針的實(shí)際位移。Vero的問世，改變了這一現(xiàn)狀。Vero采用的QPDI技術(shù)，能直接、準(zhǔn)確地測量探針位移，而不是從懸臂角的變化來間接推斷。雖然受到各種干擾后懸臂彎曲仍有可能發(fā)生，但Vero通過特殊的設(shè)計，完全不受這些因素影響。
此外，與傳統(tǒng)的OBD技術(shù)相比，QPDI技術(shù)將懸臂梁檢測噪聲降低了10倍甚至更多，提高了測量的靈敏度；QPDI技術(shù)測量純粹的垂直探針位移，避免了垂直與平面力之間的串?dāng)_；通過光的波長精確校準(zhǔn)，避免了與OBD校準(zhǔn)相關(guān)的假設(shè)和不確定性。
Akemi女士補(bǔ)充到，干涉式探測器在AFM設(shè)計早期就被提出過，但是相較于OBD探測器，因其成本和復(fù)雜性基本被放棄。直到2015年，牛津儀器Asylum Research推出Cypher IDS。Cypher IDS是一款與外部干涉儀耦合的商用AFM，為存儲器、光子計算、能量存儲和生產(chǎn)、體聲諧振器等MEMs器件和2D材料等領(lǐng)域提供了納米級性能測量。Vero的出現(xiàn)，標(biāo)志著干涉式AFM的發(fā)展又向前邁進(jìn)了一大步。
重視中國市場，積極推進(jìn)AFM的先進(jìn)應(yīng)用
Vero于2023年11月在美國市場首次發(fā)布，中國市場的發(fā)布幾乎與美國同步，而在日本和歐洲市場的發(fā)布時間相對較晚，這足以證明牛津儀器Asylum Research對中國市場的重視。
Roger Proksch博士講到：“中國市場一直是Asylum Research布局業(yè)務(wù)的一個極具吸引力的地方。我們在進(jìn)入中國市場之前，曾投入大量的時間去了解中國市場，之后便成為了中國市場的重要參與者。從那時起，中國客戶的熱情、勤奮和聰明就給我留下了深刻印象。每當(dāng)我來中國旅行或與客戶見面時，總能從中汲取到很多能量?！?/p>
關(guān)于Vero在中國市場的預(yù)期，Akemi女士表示：“壓電與鐵電材料是中國的一個熱門研究領(lǐng)域，而Vero在壓電與鐵電材料領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣泛，尤其在檢測微弱信號方面具有獨(dú)特優(yōu)勢。我們對Vero在中國市場的推廣充滿信心?！?/p>
“考慮到中國是壓電力顯微鏡（PFM）的全球第一大市場，我們在中國市場推廣Vero的一個重要策略就是，首先要讓中國的PFM客戶知道Vero原子力顯微鏡在應(yīng)用上的先進(jìn)性和特殊性，然后通過PFM群體來迅速打開市場?！?/p>
此外，Akemi女士講到：“與全球其它地區(qū)相比，中國在基礎(chǔ)研究方面的投入仍然非常強(qiáng)勁。我們將繼續(xù)與中國科研人員緊密合作，以確保未來推出的產(chǎn)品能夠充分滿足中國客戶的需求。另外，我們正在中國組建一支強(qiáng)大的牛津儀器Asylum Research團(tuán)隊，以便更好地支持中國客戶。相信憑借我們在產(chǎn)品研發(fā)和客戶資源方面的積累，牛津儀器Asylum Research將有望占據(jù)中國AFM領(lǐng)域的第一市場份額?！?/p>
持續(xù)投入研發(fā)，不斷推動AFM技術(shù)革新
回顧AFM技術(shù)發(fā)展歷史，Roger Proksch博士認(rèn)為最重要的一點(diǎn)是，AFM技術(shù)研發(fā)從原來由高?？蒲腥藛T主導(dǎo)，轉(zhuǎn)向更加工業(yè)化的方式進(jìn)行。例如，用于閉環(huán)掃描儀的極低噪聲位置傳感器、實(shí)現(xiàn)各種測量模式的靈活數(shù)字控制器、以及現(xiàn)在的緊湊型極低噪聲干涉探測器等，這些器件的推出使AFM的性能得到了大幅提升。
牛津儀器Asylum Research作為AFM技術(shù)發(fā)展長河中的重要推動者，幾十年來持續(xù)努力讓客戶能夠進(jìn)行前所未有的測量。從推出解決無法精準(zhǔn)測量力曲線弊病的MFP-1D，到快速掃描產(chǎn)品Cypher、全功能視頻級掃描產(chǎn)品Cypher VRS，再到能夠利用單一掃描器同時提供全自動、多功能、高掃描速度和高精度的大樣品AFM Jupiter XR，以及現(xiàn)在的干涉式原子力顯微鏡Vero，牛津儀器Asylum Research一直引領(lǐng)著AFM市場的技術(shù)革新。
Roger Proksch博士認(rèn)為：“因?yàn)槲覀兛梢詽M足客戶對我們的期望，所以我們能夠始終保持領(lǐng)先于競爭對手。同時，客戶的支持也是我們能夠取得這一成就的重要原因?！?/p>
最后，Roger Proksch博士說到：“AFM是一種強(qiáng)大的工具，不僅可以提供形貌圖像，還可以在不破壞樣品的情況下，在納米尺度上測量力學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)和熱特性。但是，由于AFM的懸臂易收到干擾而產(chǎn)生形變，從而影響到成像的準(zhǔn)確性和分辨率。如果想讓AFM像電子顯微鏡、光學(xué)顯微鏡等這些更成熟的顯微鏡技術(shù)一樣得到應(yīng)有的使用地位，我們就必須要解決此問題。這也是牛津儀器Asylum Research未來5年到10年要實(shí)現(xiàn)的重要目標(biāo)。”
