近年來(lái)，中國(guó)化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)蓬勃發(fā)展，隨著產(chǎn)業(yè)客戶數(shù)量和設(shè)備裝機(jī)量激增，客戶也對(duì)設(shè)備廠商的服務(wù)水平提出了更高要求。在設(shè)備性能滿足需求的前提下，售后品質(zhì)成為了用戶采購(gòu)設(shè)備時(shí)越來(lái)越關(guān)注的因素。為促進(jìn)產(chǎn)業(yè)交流，推動(dòng)廠商為用戶提供更優(yōu)質(zhì)高效的售后服務(wù)，瑞昌明盛特邀請(qǐng)用戶代表為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)售后服務(wù)現(xiàn)狀與未來(lái)發(fā)聲。
近日，瑞昌明盛采訪了武漢光迅科技股份有限公司的高級(jí)芯片工藝工程師余兵老師，余兵老師在訪談中介紹了半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)生產(chǎn)設(shè)備及晶圓表征分析方面的需求，還提到牛津儀器售后服務(wù)工程師的專業(yè)與細(xì)心，以及高配合度。
受訪人：余兵
余兵，武漢光迅科技股份有限公司，高級(jí)芯片工藝工程師；主要負(fù)責(zé)介質(zhì)膜生長(zhǎng)、金屬鍍膜、干法刻蝕、退火合金、晶圓減薄等芯片工藝。
瑞昌明盛：請(qǐng)您簡(jiǎn)要介紹您所在行業(yè)領(lǐng)域？您的主要工作研究?jī)?nèi)容以及其意義？
余兵老師：我所在的行業(yè)是光通信器件和光通信芯片。主要的工作內(nèi)容是光通信芯片的研發(fā)和制造。
光芯片在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，如通信領(lǐng)域、光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域和醫(yī)療器械領(lǐng)域等。在通信領(lǐng)域中，光芯片可以實(shí)現(xiàn)高速、高效、遠(yuǎn)距離的光信息傳輸和信號(hào)處理。在光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域中，光芯片可以實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的光學(xué)測(cè)量和傳感。在醫(yī)療器械領(lǐng)域中，光芯片可以實(shí)現(xiàn)高精度、小型化的醫(yī)療設(shè)備和治療方法。
瑞昌明盛：您主要使用牛津儀器的哪些儀器設(shè)備？采購(gòu)這一品類設(shè)備的過(guò)程中，您綜合考量了哪些因素？
余兵老師：主要使用的牛津儀器設(shè)備包括：PECVD、RIE、ICP-RIE以及EDS能譜儀等。采購(gòu)刻蝕這一類型的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，我們一般會(huì)更加關(guān)注設(shè)備穩(wěn)定性和生產(chǎn)一致性，當(dāng)然服務(wù)支持的專業(yè)性和時(shí)效性也非常重要；如果是能譜儀的話，技術(shù)支持的及時(shí)性會(huì)考慮得更多。
武漢光迅現(xiàn)場(chǎng)的牛津儀器PlasmaPro 100 Cobra ICP系統(tǒng)
瑞昌明盛：您使用過(guò)牛津儀器哪些形式的售后服務(wù)？您如何評(píng)價(jià)牛津儀器的售后服務(wù)？
余兵老師：使用過(guò)牛津儀器的遠(yuǎn)程售后支持以及現(xiàn)場(chǎng)的技術(shù)支持。牛津儀器在國(guó)內(nèi)擁有較為強(qiáng)大的售后團(tuán)隊(duì)，售后人員均有較高的技術(shù)能力；線上和線下的服務(wù)響應(yīng)度都很高，現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)基本能夠做到48小時(shí)內(nèi)抵達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。
瑞昌明盛：對(duì)于牛津儀器在線商城、儀器培訓(xùn)、應(yīng)用支持、維護(hù)保養(yǎng)、升級(jí)服務(wù)、設(shè)備搬家、遠(yuǎn)程在線智能支持等提供的售后服務(wù)，您有哪些印象深刻的案例分享？
余兵老師：牛津儀器客戶服務(wù)的現(xiàn)場(chǎng)支持工作是很到位的。有一次印象較深的是有一次周五設(shè)備下電極出現(xiàn)大的故障。由于設(shè)備生產(chǎn)任務(wù)較重，必須盡快恢復(fù)設(shè)備，和牛津儀器客戶服務(wù)工程師溝通以后，他們自愿協(xié)調(diào)工作時(shí)間，周六加急上門(mén)幫忙處理故障，解了我們的燃眉之急。
瑞昌明盛：您對(duì)牛津儀器售后服務(wù)工程師有著怎樣的印象？在與牛津儀器售后工程師的交流中有著怎樣的收獲？
余兵老師：牛津儀器的售后工程師，給我的最大的印象是專業(yè)、細(xì)心。半導(dǎo)體設(shè)備的維護(hù)和維修，首先要有專業(yè)的技能，能夠熟知設(shè)備基本構(gòu)造，并對(duì)設(shè)備的易故障點(diǎn)如數(shù)家珍，才能最快速地發(fā)現(xiàn)設(shè)備問(wèn)題；其次，也需要有足夠的細(xì)心，不會(huì)因?yàn)榇笠饬粝鹿收想[患，造成設(shè)備二次維修。
除了優(yōu)秀的職業(yè)素養(yǎng)之外，牛津儀器工程師們也提供了很多專業(yè)建議。比如平時(shí)工作中，出于研發(fā)需求，我們經(jīng)常會(huì)針對(duì)工藝設(shè)備的一些特殊部位進(jìn)行定制改造，需要牛津儀器提供詳細(xì)的設(shè)備部件圖，一般牛津儀器的工程師都會(huì)第一時(shí)間提供給我們，并且給出詳細(xì)的改造建議，對(duì)我們的研發(fā)提供了非常大的支持。
瑞昌明盛：針對(duì)您當(dāng)下或者潛在的需求，您希望未來(lái)牛津儀器能夠提供或進(jìn)一步改善哪些售后服務(wù)？
余兵老師：聽(tīng)說(shuō)牛津儀器目前正在國(guó)內(nèi)建立本地備件庫(kù)，希望進(jìn)一步加強(qiáng)零配件需求的時(shí)效性。
后記：
牛津儀器表示：武漢光迅科技股份有限公司的高級(jí)芯片工藝工程師余兵老師對(duì)牛津儀器客戶服務(wù)的認(rèn)可和信賴，代表了牛津儀器客戶服務(wù)秉承著以客戶為中心的理念，通過(guò)加速布局在中國(guó)發(fā)展，擴(kuò)建遍布全國(guó)的客戶支持網(wǎng)絡(luò)，在快速增長(zhǎng)的化合物半導(dǎo)體行業(yè)也能緊跟用戶步伐，幫助客戶取得成功。
除光通信領(lǐng)域之外，牛津儀器等離子技術(shù)部在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域也有諸多技術(shù)創(chuàng)新。高效的電源開(kāi)關(guān)和電力轉(zhuǎn)換器件使諸如電動(dòng)汽車(chē)、本地電源和網(wǎng)絡(luò)配電等新技術(shù)成為可能。利用諸如SiC和GaN等材料可提升器件性能并實(shí)現(xiàn)更低的能量損耗。牛津儀器對(duì)如何使用諸如原子層沉積、等離子體刻蝕及等離子體沉積的工藝解決方案制造更優(yōu)化器件有深刻的理解。
